| 序号 |
采购项目名称 |
意向编号 |
采购品目 |
采购需求概况 |
预算金额(万元) |
预计采购日期 |
备注 |
| 1 |
荧光寿命测量系统 |
YX(略) |
A(略)物理光学仪器 |
开展超快时序光学测量的光谱仪设备，包括条纹变像管，高灵敏度CCD探测器和单色仪等部分，具体参数要求为：(略) |
(略) |
(略)年(略)月 |
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| 2 |
FIB扫描电子显微镜双束系统 |
YX(略) |
A(略)显微镜 |
&#(略);拟购FIB扫描电子显微镜双束系统1套。
主要技术指标：(略) |
(略) |
(略)年(略)月 |
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| 3 |
化学机械平坦化系统 |
YX(略) |
A(略)工艺试验机 |
&#(略);拟购化学机械平坦化系统1套。
主要技术指标：(略) |
(略) |
(略)年(略)月 |
|
| 4 |
激光直写系统 |
YX(略) |
A(略)工艺试验机 |
&#(略);拟购激光直写系统1套。
主要技术指标：(略) |
(略) |
(略)年(略)月 |
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| 5 |
原子层刻蚀系统 |
YX(略) |
A(略)工艺试验机 |
&#(略);拟购原子层刻蚀系统1套。
主要技术指标：(略) |
(略) |
(略)年(略)月 |
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| 6 |
误码率分析仪 |
YX(略) |
A(略)集成电路参数测量仪 |
&#(略);拟购误码率分析仪1台。
主要技术指标：(略) |
(略) |
(略)年(略)月 |
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| 7 |
电子束蒸镀机 |
YX(略) |
A(略)工艺试验机 |
&#(略);拟购电子束蒸镀机1台。
主要技术指标：(略) |
(略) |
(略)年(略)月 |
|
| 8 |
脉冲激光沉积系统 |
YX(略) |
A(略)工艺试验机 |
&#(略);拟脉冲激光沉积系统1台。
主要规格参数：(略) |
(略) |
(略)年(略)月 |
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| 9 |
大带宽高速时域信号调制分析仪 |
YX(略) |
A(略)集成电路参数测量仪 |
&#(略);拟购大带宽高速时域信号调制分析仪统1台。
主要技术指标：(略) |
(略) |
(略)年(略)月 |
|
| (略) |
反应离子刻蚀机 |
YX(略) |
A(略)工艺试验机 |
&#(略);拟购反应离子刻蚀机1台。
主要规格参数：(略) |
(略) |
(略)年(略)月 |
|
| (略) |
存储器芯片测试系统 |
YX(略) |
A(略)集成电路参数测量仪 |
&#(略);拟购存储器芯片测试系统1套。
主要规格参数：(略) |
(略) |
(略)年(略)月 |
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| (略) |
频谱分析仪 |
YX(略) |
A(略)集成电路参数测量仪 |
&#(略);拟购频谱分析仪1台。
主要规格参数：(略) |
(略) |
(略)年(略)月 |
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| (略) |
等离子体增强化学气相沉积系统 |
YX(略) |
A(略)工艺试验机 |
&#(略);拟购等离子体增强化学气相沉积系统1套。
主要规格参数：(略) |
(略) |
(略)年(略)月 |
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| (略) |
矢量网络分析仪 |
YX(略) |
A(略)集成电路参数测量仪 |
&#(略);拟购矢量网络分析仪1台。
主要技术指标：(略) |
(略) |
(略)年(略)月 |
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| (略) |
功率器件分析仪 |
YX(略) |
A(略)功率计 |
&#(略);拟购功率器件分析仪1台。
主要技术指标：(略) |
(略) |
(略)年(略)月 |
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| (略) |
金相显微镜 |
YX(略) |
A(略)显微镜 |
&#(略);拟购金相显微镜4台。
主要技术指标：(略) |
(略) |
(略)年(略)月 |
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| (略) |
相位噪声分析仪 |
YX(略) |
A(略)集成电路参数测量仪 |
&#(略);拟购相位噪声分析仪1台。
主要技术指标：(略) |
(略) |
(略)年(略)月 |
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| (略) |
椭偏仪 |
YX(略) |
A(略)光学测试仪器 |
&#(略);拟购椭偏仪1台。
主要技术指标：(略) |
(略) |
(略)年(略)月 |
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| (略) |
GPU服务器 |
YX(略) |
A(略)服务器 |
&#(略);拟购GPU服务器1台。
主要技术指标：(略) |
(略) |
(略)年(略)月 |
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| (略) |
ESD测试系统 |
YX(略) |
A(略)集成电路参数测量仪 |
拟购ESD测试系统1套。该系统包括半导体器件及ESD测试平台、中脉冲宽度扩展器及手动探头。
主要技术指标：(略) |
(略) |
(略)年(略)月 |
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