项目名称

半导体高端设备高洁净清洗线自动化技术改造

建设地点

广东广州黄埔区禾丰路(略)号

建设单位

广州富乐德科技发展有限公司

项目概况

项目选址在广州市黄埔区永和街道禾丰路(略)号进行扩建，年增加清洗修复半导体生产设备精密部件(略)万件，扩建后全厂年清洗修复半导体生产设备精密部件(略)万件、TFT生产设备精密部件(略)万件。

环评机构

广州经济技术开发区怡地工程有限公司

主要环境影响及预防或减轻不良环境影响的对策和措施

1.高压冲洗产生的颗粒物集中收集经现有湿式除尘器处理，达到广东省《大气污染物排放限值》（DB(略)/(略)-(略)）第二时段二级标准后引至排气筒（DA(略)）高空排放，排气筒出口处距离地平面不低于(略)米。2. 喷砂工序产生的颗粒物集中收集经现有滤筒除尘装置处理，达到广东省《大气污染物排放限值》（DB(略)/(略)-(略)）第二时段二级标准后引至排气筒（DA(略)）高空排放，排气筒出口处距离地平面不低于(略)米。3.酸洗过程产生的酸性废气（氮氧化物、氟化物、氯化氢）集中收集经三级碱液喷淋塔+三级除臭洗涤处理，达到广东省《大气污染物排放限值》（DB(略)/(略)-(略)）第二时段二级标准后引至排气筒（DA(略)）高空排放，排气筒出口处距离地平面不低于(略)米。4.碱洗过程产生的碱性废气（氨气）集中收集经“二级酸液喷淋+二级除臭洗涤”装置处理，达到《恶臭污染物排放标准》（GB(略)-(略)）表2恶臭污染物排放标准值后引至排气筒（DA(略)）高空排放，排气筒出口处距离地平面不低于(略)米。 5.有机清洗以及溶剂回收过程产生的有机废气集中收集经现有“二级水喷淋+活性炭吸附”装置处理，TVOC、非甲烷总烃应达到广东省《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》（DB(略)/(略)-(略)）表1挥发性有机物排放限值后引至排气筒（DA(略)）高空排放，排气筒出口处距离地平面不低于(略)米。

公众参与情况