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带磁控沉积的离子束刻蚀机采购国际招标公告(1)

2025-09-19 广东-深圳-福田区
所在地区: 广东-深圳-福田区 发布日期: 2025年9月19日
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招标采购正文
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带磁控沉积的离子束刻蚀机采购国际招标公告(1)日期:(略)

招标编号:(略)

项目名称:(略)

深圳市闪购信息科技有限公司受深圳国际量子研究院委托对下列产品及服务进行国际公开招标,于(略)年(略)月(略)日发布招标公告。本次招标采用公开招标方式,现邀请合格投标人参加投标。

[if !supportLists]1.[endif]招标条件

[if !supportLists]1.1[endif]项目概况:(略)

[if !supportLists]1.2[endif]资金到位或资金来源落实情况:(略)

[if !supportLists]1.3[endif]项目已具备招标条件的说明:(略)

[if !supportLists]2.[endif]招标内容

2.1项目实施地点:(略)

2.2招标产品列表:

序号

产品名称

主要技术参数

数量

交货时间

1

带磁控沉积的离子束刻蚀机采购

最大样品尺寸直径6英寸,兼容4英寸 (载盘式设计)

刻蚀速率 ≥ (略) nm/min(6寸晶圆,SiO2膜)

刻蚀均匀性≤ 3 % 6寸晶圆,SiO2膜, (max - min)/(2 x mean))

设备采用2.(略)GHz微波离子源

离子束有效束径(略)mm

真空腔室带HIDEN Analytical Ltd. SIMS终点检测装置,设备具有相应的法兰接口

真空腔室带磁控溅射源接口

工件台倾斜角度可调,调节范围0-(略)度,控制精度+/-0.1°

磁控溅射源安装在腔室顶部,用于介质的镀膜工艺,做原位侧壁保护

1套

合同生效后(略)周内

2.3简要技术规格:(略)

[if !supportLists]3.[endif]投标人资格要求

3.1投标人应具备的资格或业绩:(略)

3.2是否接受联合体投标:(略)

3.3未在深圳市闪购信息科技有限公司登记并领购招标文件的潜在投标人不得参加投标。

3.4未在本项目投标截止时间前,在中国国际招标网(http:(略)

[if !supportLists]4.[endif]招标文件的领购

4.1招标文件领购开始时间:(略)

4.2招标文件领购结束时间:(略)

4.3招标文件领购地点:(略)

4.4招标文件售价:(略)

[if !supportLists]5.[endif]投标文件的递交

5.1投标截止时间(开标时间):(略)

5.2投标文件送达地点:(略)

5.3开标地点:(略)

[if !supportLists]6.[endif]发布公告的媒体

6.1本公告同时在《中国国际招标网》、《中国招标投标公共服务平台》上发布。投标人在投标前应在必联网(https:(略)

[if !supportLists]7.[endif]联系方式

招标人:(略)

地址:(略)

联系人:(略)

联系方式:(略)

招标机构:(略)

地址:(略)

邮编:(略)

联系人:(略)

电话:(略)

电子邮箱:(略)

[if !supportLists]8.[endif]其他补充说明

8.1账号信息

人民币账户:

开户名称:(略)

人民币账户信息(仅接收人民币用):

银行帐号:(略)

开户银行:(略)

美元账户信息(仅接收美元用):

银行帐号:(略)

开户行:(略)

8.2获取招标文件的方式

8.2.1招标文件获取方式:(略)

8.2.2如有操作疑问请联系招标机构。

深圳市闪购信息科技有限公司

(略)-(略)-(略)

附件:

招标公告.docx

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按照客观、公正、公开的原则,本条信息受业主方委托独家指定在中国建设招标网 www.jszhaobiao.com 发布

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