广东省科学院半导体研究所多功能电子束仿真软件（MEBS）模块升级采购项目单一来源公示-广东省招标采购-建设招标网

广东省科学院半导体研究所多功能电子束仿真软件（MEBS）模块升级采购项目单一来源公示

2025-10-30 广东-广州-天河区

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所在地区：	广东-广州-天河区	发布日期：	2025年10月30日
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招标采购正文

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广东省科学院半导体研究所多功能电子束仿真软件（MEBS）模块升级采购项目单一来源公示公告类型：(略)<div>一、项目信息采购人：(略)项目名称：(略)拟采购的货物或者服务的说明：广东省科学院半导体研究所（以下简称“采购人”）已于(略)年通过国内公开招标的采购方式，向国内潜在供应商发出投标邀请，但最终未有三家投标人应标。团队最终通过国内公开招标转单一来源谈判的采购方式向英国Munro’s Electron Beam Software Ltd.（以下简称“Munro公司”）在中国境内唯一的授权销售总代理广州航赛进出口有限公司购置了多功能电子束仿真软件（Munro’s Electron Beam Software，以下简称MEBS软件）的(略)个模块，并配备了5个用户权限（USB加密狗）。采购人后续在已实施采购的(略)个模块的基础上新增了WIEN和WIEN-REFINE两个模块，用于电子束光刻机及电子束关键尺寸量测显微镜设备的研制。至此，采购人现拥有MEBS软件的(略)个模块，该软件显著提升了采购人的科研条件和研发能力。为满足“(略) mm晶圆平坦度测量、电子束关键尺寸测量设备及其核心零部件的研发及产业化”项目需求，采购人计划对现有MEBS软件进行升级，具体内容包括：（一）新增模块及授权：(略)（二）已有模块授权：(略)拟采购的货物或服务的预算金额（元）：(略)采用单一来源采购方式的原因及说明：（一）原因根据《广东省财政厅关于规范省级单一来源采购方式审批和进口产品核准管理有关事项的通知》第一条的规定，本项目属于以下规定的第(1)种情形:1.因货物或者服务使用不可替代的专利、专有技术，导致只能从某一特定供应商处采购的；2.公共服务项目具有特殊要求，只能从某一特定供应商处采购的；3.发生了不可预见的紧急情况不能从其他供应商处采购的；4.必须保证原有采购项目一致性或者服务配套的要求，需要继续从原供应商处添购，且添购资金总额不超过原合同采购金额百分之十的；5.公开招标数额标准以上的采购项目，投标（报价）截止后投标（报价）人仅有1家或者通过资格审查或符合性审查的投标（报价）人仅有1家的，经专家论证，采购文件没有不合理条款、采购程序符合规定的。（二）说明1.采购人热管理团队的主要研究方向为电子束技术及相关装备的研制。团队购置了MEBS软件中的(略)个模块，具体清单如下表所示：<div><table><tbody><tr><td>序号</td><td>软件模块名称</td><td>数量</td><td>描述</td></tr><tr><td>1</td><td>OPTICS</td><td>1套</td><td>Electron beam column simulation</td></tr><tr><td>2</td><td>TOLERANCE</td><td>1套</td><td>Column tolerancing</td></tr><tr><td>3</td><td>REFINE</td><td>1套</td><td>Column optimization</td></tr><tr><td>4</td><td>DYNAMIC</td><td>1套</td><td>Dynamic correction elements design</td></tr><tr><td>5</td><td>ABER-5</td><td>1套</td><td>Upgrade to include 5thorder aberration correction</td></tr><tr><td>6</td><td>REFINE-5</td><td>1套</td><td>Upgrade for automated optimization including 5thorder</td></tr><tr><td>7</td><td>DYNAMIC-5</td><td>1套</td><td>Upgrade for design of dynamic correction elements including 5thorder</td></tr><tr><td>8</td><td>SOURCE</td><td>1套</td><td>Electron gun design (electrostatic focusing only)</td></tr><tr><td>9</td><td>SOURCE-MAGNETIC</td><td>1套</td><td>Electron source designing (including magnetic focusing)</td></tr><tr><td>(略)</td><td>SOURCE-TOLERANCE</td><td>1套</td><td>Electron gun design to include tolerancing capabilities</td></tr><tr><td>(略)</td><td>SOURCE-CI</td><td>1套</td><td>Electron gun design to include Coulomb Interactions</td></tr><tr><td>(略)</td><td>PROJECTION</td><td>1套</td><td>Simulation of electron beam projection systems</td></tr><tr><td>(略)</td><td>3D-FIELD</td><td>1套</td><td>Three-dimensional field computations</td></tr><tr><td>(略)</td><td>3D-RAYTRACE</td><td>1套</td><td>Direct raytracing using Three-dimensional FD method</td></tr><tr><td>(略)</td><td>3D-SPACECHARGE</td><td>1套</td><td>Upgrade from 3D-RAYTRACE</td></tr><tr><td>(略)</td><td>SOFEM-FIELD</td><td>1套</td><td>2D second order field computation</td></tr><tr><td>(略)</td><td>SOFEM-RAYTRACE</td><td>1套</td><td>2D direct raytracing using second order FEM</td></tr><tr><td>(略)</td><td>WIEN</td><td>1套</td><td>3rd-order aberration analysis of multipole and Wien filter systems</td></tr><tr><td>(略)</td><td>WIEN-REFINE</td><td>1套</td><td>Optimization of aberrations up to 3rd-order</td></tr></tbody></table></div>目前，该软件运行状态良好，能够满足采购人对电子枪设计、静电和磁透镜设计、动态校正元件设计、电子光学柱优化设计、维恩滤波器设计的需求。然而，采购人现有软件模块不具备对电子/离子束“离散库仑相互作用”与各类“像差”进行综合效应分析的功能，直接制约了采购人在设计阶段对电子束最终聚焦精度和稳定性的预测能力。因此，需要在原基础上新增IMAGE系列的4个模块，并授权于原有的5个USB加密狗，以构建完整的仿真分析能力。其中，IMAGE-LENS作为基础模块，主要用于分析圆透镜系统中的几何像差和库仑效应；IMAGE模块是IMAGE-LENS的升级版，将分析范围扩展至包含偏转器、多极透镜、消像散器及维恩滤波器在内的复杂组合光学系统；IMAGE-TOLERANCE核心功能是公差分析，用于计算系统模型的加工误差与装配误差；PARALLEL-IMAGE是性能加速模块，通过并行算法大幅提升计算效率。新增模块将实现小于或等于5 nm电子运动轨迹仿真精度、小于或等于0.1 nA束流控制精度，并具备全阶像差分析、库仑效应模拟及并行计算能力。这些功能将有力支撑电子束光刻机、电子束关键尺寸量测设备及其核心零部件的研制，可满足采购人团队的研究需求。此外，随着采购人团队的发展壮大，现有软件授权数已无法满足使用需求，需将已有的WIEN和WIEN-REFINE模块授权于上述原有的5个USB加密狗，以保障更多研究人员的使用。2.MEBS软件是唯一由英国Munro公司独家研发的电子束技术领域权威商业软件。该软件采用二阶有限元方法，具有高精度特点，能够满足电子光学部件的电磁场计算、像差分析、轨迹追踪、库仑效应模拟、电子光柱体系统设计和电子束维恩滤波器设计等多方面需求。目前，MEBS软件在国内市场竞争性较低，属于高度垄断产品，且暂无相关国产化替代软件能符合采购人目前的科研需求。由于MEBS软件是唯一由Munro公司研发设计的，Munro公司在中国地区目前只唯一授权了广州航赛进出口有限公司作为销售总代理，其拥有自主知识产权和相关技术，其他公司或机构无法提供该技术指标的同类软件升级服务。综上所述，采购人本次采购的IMAGE系列模块及新增用户权限，因使用的技术为Munro公司独占，且只能从其唯一授权代理商处获得，符合《中华人民共和国政府采购法》单一来源适用情况中“只能从唯一供应商处采购的”的情形及《广东省财政厅关于规范省级单一来源采购方式审批和进口产品核准管理有关事项的通知》“因货物或者服务使用不可替代的专利、专有技术，导致只能从某一特定供应商处采购的”的情形。基于上述原因，现拟采用单一来源采购方式向Munro公司在中国境内唯一授权的销售总代理广州航赛进出口有限公司进行采购。二、拟定供应商信息：名称：(略)地址：(略)三、公示期限(略)年(略)月(略)日至(略)年(略)月6日四、其他补充事宜/五、联系方式1.采购人联系人：(略)联系地址：(略)联系电话：(略)2.采购代理机构联系人：(略)联系地址：(略)联系电话：(略)发布人：(略)发布时间：(略)</div><dl><dt>上一条：</dt><dd>广东省生物制品与药物研究所实验室通风及供气系统维修项目招标采购公告</dd></dl><dl><dt>下一条：</dt><dd></dd></dl></div></div></div>

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